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- 我国电子工业部高纯水水质试行标准化学指标单位:μg/L序号水质项目一级高纯水指标二级高纯水指标1电阻率(25℃)MΩ·cm≥15≥102电导率,μs/cm0.050.13PH值6.8~7.26.6~7.44细菌总数,个/mL<3<95微粒(直径>0.5μm,粒/mL)<150<3006二氧化硅<10<207有机物(以COD计)<0.3<0.58钠Na<0.5<29铁Fe<1<210铜Cu<0.5<111钙Ca<1<312镁Mg<0.2<113锌Zn<0.5<114锰Mn<0.2<0.5还是从预处理上找原因...
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