超纯水的标准是什么?超纯水标准指标
2023-07-24 12:02:43 文章来源 :网络 围观 : 次 评论
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电阻率大等于18.2M欧姆.cm,TOC<1ppb,这是两个最重要的指标了,其他的阴阳离和金属基本上都属于小于5-20PPT的级别了。
超纯水,又称UP水,电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。
目前科技水的纯净度也只有TDS质来衡量或是到有关部门做水质检测。
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